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[鑫（xīn）海森動態]91污视频在线观看為你講解高精度（dù）蝕刻技術：反應離（lí）子蝕刻2017年05月23日 10:45: 反（fǎn）應離子蝕刻技術是一種物理化學工藝（yì）過程。化學反應氣體(自由基、離子)與待除去的銅箔反應。生成一種揮（huī）發性（xìng）氣體化合（hé）物，它很容易從此表麵上抽吸掉。反應（yīng）等離子蝕刻是有選擇性（xìng）的，優先與要去（qù）除的銅箔發生反應，但不與保護膠發生反應。反應離子蝕刻可以是全方位的(各向同性)，也可以是有方向性的(各向異性（xìng）)，取決於使用（yòng）的等離子條件。當然，在高精度（dù）的製造場合，我（wǒ）們選（xuǎn）取的是其各向異性的特征。該蝕刻方式不僅蝕刻精度高，而且蝕刻速率快(每分鍾蝕刻銅箔的速率為幾千埃（āi）)，是最為理（lǐ）想的高精度時刻方式。; 閱讀（209）標簽：91污视频在线观看（sēn）動（dòng）態