化學蝕刻中常(cháng)見的問(wèn)題
化學蝕刻(kè)中常見的(de)問題(tí)有:
1、 邊緣輪廓線不清楚,這(zhè)種情況是(shì)因為零件表麵沾汙,如手印(yìn)、化學汙染、氧化膜、防蝕層邊(biān)緣不清晰等,還(hái)有就是蝕刻液濃度不在工藝規定範圍內,這種情況下首先(xiān)需要加強各工序(xù)管理,防止二次汙染,在蝕刻之前對防蝕層檢(jiǎn)查要嚴格,其次分析調整蝕刻液各成分至工藝規定範圍。
2、 粗糙的蝕刻表麵,被蝕刻表麵(miàn)有溝槽、留痕及點蝕,其主要原因是蝕刻液中AI3+濃度太高,NaOH濃度太高或太低,蝕刻後酸洗後,漂洗不淨,糾正的方法就(jiù)是分析調整蝕刻液各成份濃度到工藝規定範圍,加強酸洗後(hòu)的水洗質量。
3、 形(xíng)成凹坑主要是因為蝕刻液(yè)中AI3+濃度及(jí)NaOH濃度太高,處理(lǐ)的方法就是稀釋蝕刻液,降(jiàng)低濃度(dù)。
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