蝕刻加工工藝之多台階蝕刻
蝕刻加工工藝之多台階蝕刻
多台階蝕刻其實就是選擇性蝕刻在實際生產中的另一種應用方式,是用選擇性蝕刻的方法在零件上腐蝕出各種不同深(shēn)度的一種蝕刻加工方法,也稱為分步切削(xuē)腐蝕加工。通過這種方法腐蝕的各種不同深度(dù)可以用未腐蝕的凸台分隔開,也可以相互鄰接最(zuì)終形成梯形(xíng)的(de)剖麵(miàn)。
其(qí)加工程序是:最先曝露蝕刻的部位,也就是最終腐蝕得(dé)最(zuì)深的部(bù)位,對深度大的腐蝕應特別(bié)注意側蝕量及(jí)多台階累計公差(chà)的精確計(jì)算。
在多台階蝕刻(kè)加工中要特別注意(yì)加工公差問題,由於在多次蝕刻(kè)加工過程中,公(gōng)差會逐漸積累(lèi)起來,因而,每一次(cì)蝕(shí)刻加工都必須取公(gōng)差的中值。並且在(zài)實際蝕刻過(guò)程中,還需(xū)要對腐蝕的(de)尺寸進行精確測量,以便可以補救偏離公(gōng)差的部分。
在多台階蝕刻加工中還要注意一個問(wèn)題(tí),就是經腐蝕後的各(gè)層台(tái)階邊緣的幾何形(xíng)狀是會隨著腐蝕深度的增加而變化,如果想要達到預期的幾何邊緣,就需要選擇與之相適應的腐(fǔ)蝕方法。
在多台階(jiē)蝕刻加工中,有兩個關鍵尺寸的配合,即腐蝕深度和(hé)側蝕量的配合。隻有這兩者(zhě)都達到標準與結合,才能蝕刻加工出設計要求的產品。腐蝕深度和側蝕量都要(yào)可以取得精確的數據,再根據這些數據,確定每個台(tái)階(jiē)的蝕刻時間及每個台(tái)階的窗口尺(chǐ)寸。
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